電子特氣電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對(duì)電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。國(guó)內(nèi)的高純度凈化技術(shù)主要依賴進(jìn)口，自身的技術(shù)水準(zhǔn)（6N）與國(guó)際先進(jìn)水平(8-9N)有較大差距。本項(xiàng)目將設(shè)計(jì)和研發(fā)一系列高一點(diǎn)效能、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對(duì)MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個(gè)系列，50多種電子特氣進(jìn)行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級(jí)提高到ppb、ppt級(jí)，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對(duì)氣體純度的影響降至較小，從而較大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項(xiàng)目將形成有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題。

      高純氣體無(wú)機(jī)類：

      高純氣體有機(jī)類：

      包裝一般采用40升鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶包裝，充裝壓力和充裝量完全符合相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；特殊氣體規(guī)格也可根據(jù)客戶要求充裝成8升，4升或其它種類氣瓶液化氣體計(jì)量稱重；腐蝕性、反應(yīng)活性氣體采用代不銹鋼瓶閥和特殊處理氣瓶進(jìn)行包裝。